Structuurdelen gemaakt van siliciumcarbide (SiC) en aluminiumoxide (Al2O3) hebben enkele grote voordelen ten opzichte van andere gebruikelijke materialen. De speciale eigenschappen van deze keramische materialen zijn hun hoge stijfheid, lage thermische uitzettingscoëfficiënt en lage dichtheid. Bovendien zijn deze materialen niet-magnetisch, en kennen ze geen uitgassing in vacuümtoepassingen. Door deze unieke combinatie van eigenschappen zijn deze materialen zeer geschikt voor uitermate nauwkeurige machines waarin bijzondere (proces)omstandigheden heersen.
|
|
Ondersteunende structuren, met dezelfde thermische uitzetting als silicium, extreem nauwkeurig, slijtvast, zeer hoge stijfheid en licht van gewicht.
Structuren die extreem lichtgewicht zijn en een hoge stijfheid bezitten, vooral bedoeld voor hoge temperaturen of in ultrahoog vacuüm.
Nauwkeurig positioneren in machines en kalibratiegereedschappen. Geringe uitzetting en hoge stijfheid spelen hier een grote rol.
De combinatie van hoge elasticiteitsmodulus en lage uitzettingscoëfficiënt is uniek en maakt dit een uitstekend materiaal voor structuurdelen in high-tech systemen. Deze combinatie van materiaaleigenschappen zorgt voor minimale mechanische vervorming door thermische invloeden. De combinatie van lage dichtheid, hoge stijfheid en lage uitzettingscoëfficiënt - die gelijk is aan die van silicium wafers - maakt het een ideaal dragermateriaal voor silicium wafers, metrologie op picometer-schaal en andere uitdagingen binnen de precisietechnologie.
De toegevoegde waarde van keramiek voor structuurdelen wordt hieronder weergegeven door een vergelijking te maken met andere gebruikelijke materialen voor structuurdelen.
Maximale afmetingen in een stuk tot 2300 mm.