logo-ctc-gray-white.svg

NL | EN

+31 (0)345 58 01 01‬

logo-ctc-gray-white.svg
glijlager-ceratec_web.jpg

VACUÜM WAFERCHUCK

ceratec_icon_pijlrechts_grijs.png

INDUSTRIE

MATERIALEN

TOEPASSING

Vacuüm wafer chucks worden in de halfgeleiderindustrie gebruikt om de wafer nauwkeurig te positioneren in de machine.

Door keramische materialen te gebruiken kunnen vlakheden van minder dan 1 micron worden gerealiseerd.


De waferchuck zorgt voor een nauwkeurige positionering van de wafer in diverse processtappen:

  • Tijdens belichting van de wafer
  • Bij inspectie

ctc_icon_eigenschappen.png

EIGENSCHAPPEN

  • Alle patronen mogelijk
  • Ook niet-vlakke wafers kunnen worden verwerkt
  • Verwarming kan worden geïntegreerd
  • Oude wafer-tafels kunnen weer bruikbaar worden gemaakt/gerecycled

ctc-icon_product.png

PRODUCTEN

render 3-crop-u203051.png

PATROON 1

render 3-crop-u203071.png
PATROON 2
render 3-crop-u203091.jpg

PATROON 3

ctc-icon_toegevoegdewaarde.png

TOEGEVOEGDE WAARDE

  • Hoge stijfheid van keramiek bij een lichtgewicht structuur
  • Noppenstructuren op de chuck verminderen het contactoppervlak tussen wafer en chuck met een factor 100, en voorkomen het plakken van de wafer
  • Extreem vlakke delen
ctc-icon_standaardmaten.png

Afmetingen

Klantspecifieke afmetingen tot 1500 mm


ctc-icon_specificatie.png

SPECIFICATIE

ceratec_icon_pijlonder_grijs.png

DOWNLOADS

ctc_icon_projectaanvraag.png

STUUR ONS UW PROJECT!

Vragen?

Onze keramische specialisten staan voor u klaar!

Contact

CERATEC ACADEMIE

Kennis en achtergrondinformatie over het duurzame materiaal keramiek

Meer informatie

INSCHRIJVEN
voor nieuws- en marketingberichten

PAGINA'S

Poppenbouwing 35
4191 NZ Geldermalsen
Nederland
+31 (0)345 58 01 01
info@ceratec.nl

® 2021 Ceratec Technical Ceramics B.V. | All Rights Reserved | Privacy

Volg ons