Industrie
Materialen
Toepassing
Vacuüm wafer chucks worden in de halfgeleiderindustrie gebruikt om de wafer nauwkeurig te positioneren in de machine.
Door keramische materialen te gebruiken kunnen vlakheden van minder dan 1 micron worden gerealiseerd.
De waferchuck zorgt voor een nauwkeurige positionering van de wafer in diverse processtappen:
- Tijdens belichting van de wafer
- Bij inspectie
Eigenschappen
- Alle patronen mogelijk
- Ook niet-vlakke wafers kunnen worden verwerkt
- Verwarming kan worden geïntegreerd
- Oude wafer-tafels kunnen weer bruikbaar worden gemaakt/gerecycled
| |
Toegevoegde waarde
- Hoge stijfheid van keramiek bij een lichtgewicht structuur
- Noppenstructuren op de chuck verminderen het contactoppervlak tussen wafer en chuck met een factor 100, en voorkomen het plakken van de wafer
- Extreem vlakke delen
Afmetingen
Klantspecifieke afmetingen tot 1500 mm
Specificatie
