glijlager-ceratec_web.jpg

VACUÜM WAFERCHUCK

ceratec_icon_pijlrechts_grijs.png

Vacuüm wafer chucks worden in de halfgeleiderindustrie gebruikt om de wafer nauwkeurig te positioneren in de machine.

Door keramische materialen te gebruiken kunnen vlakheden van minder dan 1 micron worden gerealiseerd.


De waferchuck zorgt voor een nauwkeurige positionering van de wafer in diverse processtappen:

  • Tijdens belichting van de wafer
  • Bij inspectie

ctc_icon_eigenschappen.png

EIGENSCHAPPEN

  • Alle patronen mogelijk
  • Ook niet-vlakke wafers kunnen worden verwerkt
  • Verwarming kan worden geïntegreerd
  • Oude wafer-tafels kunnen weer bruikbaar worden gemaakt/gerecycled

ctc-icon_product.png

PRODUCTEN

render 3-crop-u203051.png

PATROON 1

render 3-crop-u203071.png
PATROON 2
render 3-crop-u203091.jpg

PATROON 3

ctc-icon_toegevoegdewaarde.png

TOEGEVOEGDE WAARDE

  • Hoge stijfheid van keramiek bij een lichtgewicht structuur
  • Noppenstructuren op de chuck verminderen het contactoppervlak tussen wafer en chuck met een factor 100, en voorkomen het plakken van de wafer
  • Extreem vlakke delen
ctc-icon_standaardmaten.png

Afmetingen

Klantspecifieke afmetingen tot 1500 mm


ctc-icon_specificatie.png

SPECIFICATIE

ctc_icon_projectaanvraag.png

STUUR ONS UW PROJECT!