Vacuüm wafer chucks worden in de halfgeleiderindustrie gebruikt om de wafer nauwkeurig te positioneren in de machine.
Door keramische materialen te gebruiken kunnen vlakheden van minder dan 1 micron worden gerealiseerd.
De waferchuck zorgt voor een nauwkeurige positionering van de wafer in diverse processtappen:
|
Klantspecifieke afmetingen tot 1500 mm
